微細加工, MEMS, 材料評価のマイクロ・ナノプロセス研究グループHPへようこそ

過去の卒論・修論タイトル

  • 2016(平成28)年度
    • 伊藤嘉崇，修士論文「可視光透過型薄膜熱電発電デバイスの作製」
    • 蟹江道弘，修士論文「Au-Cu系金属ガラス流動積層法の基礎研究」
    • 田村健紀，修士論文「フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたNi系微細構造の作製」
    • 藤本幸佑，修士論文「金属ガラスを用いた超小型微小圧測定用静電容量型圧力センサの作製」
    • 村上元規，修士論文「高成形性形状記憶合金の熱的特性のハイスループット評価法の研究」
    • 伊木啓一郎，卒業論文「高成形性形状記憶合金を用いた受動型触覚ディスプレイの基礎研究」
    • 上嶋祥平，卒業論文「超小型静電容量型圧力センサの新規プロセス検討」
    • 中川優希，卒業論文「Au-Cu系金属ガラス流動積層法の積層評価」
    • 長谷川拓己，卒業論文「高感度磁区観察のための光学フィルタの作製」
    • 堀　史門，卒業論文「応力測定可能なデザイナブルゲル生体モデル製作の基礎検討」
    • 本川侑季，卒業論文「SOI基板を利用した集積化MEMSライブラリの製作」
  • 2015(平成27)年度
    • 渡辺茂高，博士論文「アモルファス合金厚膜構造体の製作方法とMEMSへの応用」
    • 荒金　駿，修士論文「フェムト秒レーザ還元直接描画法による微細Cuパターンの作製および評価」
    • 今枝航大，修士論文「MEMS技術を用いた経皮吸収剤応用マイクロニードルの研究」
    • 近藤　祐，修士論文「反射防止構造を付与した薄膜熱電発電デバイスの作製」
    • 高桑　暁，修士論文「受動型ドラッグデリバリーシステムの薬液投与特性」
    • 宮本将志，修士論文「コンビナトリアル手法を用いた塩素発生用電極触媒探索に関する基礎研究」
    • 深川雄貴，修士論文「水分センサ用ポーラス薄膜成膜条件のコンビナトリアル探索」
    • 寺野慧太，卒業論文「PVAハイドロゲル生体モデルの応力測定」
    • 安部修平，卒業論文「コンビナトリアル探索のための薄膜金属ガラスの内部応力制御」
    • 飯嶋勇樹，卒業論文「濡れ性制御による３次元自己配列のための微小パーツの作製」
    • 伊藤恭章，卒業論文「フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu2Oマイクロ温度センサ作製と評価」
    • 粂野勇貴，卒業論文「受動型ドラッグデリバリーシステムの設計と作製方法」
    • 高木進吾，卒業論文「水素発生用電極触媒のコンビナトリアル評価基板の製作」
    • 平井友喜，卒業論文「MEMS技術を応用したリチウム電池の正極材料のハイスループット評価法の基礎研究」
    • 渡邊寛人，卒業論文「Ti-Ni系高成形性形状記憶合金のマイクロ成形加工の検討」
  • 2014(平成26)年度
    • Jiang Shengxian，博士論文「Combinatorial Approach of Ni-based Amorphous Alloys for Glass Lens Molding Die Materials」
    • 金　必永，修士論文「樹脂製ダイアフラムを用いたフレキシブルMEMSセンサに関する研究」
    • 小野良太，修士論文「肺機能計測を目的とした気道内固定機構付き流量センサの開発」
    • 柴田峻志，修士論文「銅張積層板を用いた熱検知式MEMSセンサの高速応答化と医療応用」
    • 山田貴之，修士論文「 救急救命における呼吸・心拍のデュアルモニタリングを目指したMEMS流量センサに関する研究」
    • 鈴木　慧，卒業論文「水素発生触媒用コンビナトリアル評価基板の作製」
    • 西田　敏，卒業論文「静電容量型圧力センサの超小型化に関する基礎検討」
    • 田村健紀，卒業論文「フェムト秒レーザを用いたニッケル酸化物の還元微細パターニング」
    • 白石尚也，卒業論文「光てこ法による磁歪バイレイヤ構造体のたわみ評価方法の研究」
  • 2013(平成25)年度
    • 前谷卓哉，修士論文「センサ用磁歪材料のコンビナトリアル探索」
    • 吉井雄佑，修士論文「新しい薄膜金属フィルタを用いた油中水分センサ」
    • YAP JENGHUA，修士論文「集積化ハイスループット薄膜金属疲労試験法」
    • 衛藤祐太，修士論文「せん断応力計測を目的としたフィルム型MEMSセンサに関する研究」
    • 新美洋介，修士論文「ウェアラブル実装を目的としたフィルム型MEMSセンサに関する研究」
    • 別所克彦，修士論文「次世代経皮吸収剤を目指した先端分離型マイクロニードルの開発」
    • 松山拓矢，修士論文「動物実験における呼吸機能評価を目的としたMEMS流量センサの開発」
    • 今枝航大，卒業論文「経皮吸収剤を目的としたニードル先端部構造の先鋭化に関する研究」
    • 河村光，卒業論文「CVDダイヤモンド薄膜へのリフトオフプロセスの検討」
    • 佐藤俊介，卒業論文「呼気吸気計測を可能とする流量計測機能付き挿管チューブに関する研究」
    • 深川雄貴，卒業論文「斜入射スパッタ成膜電極を有する静電容量形水分センサ」
    • 宮本将志，卒業論文「二次電池正極材料のハイスループット評価に関する基礎研究」
    • 渡邊裕也，卒業論文「フレキシブル圧力センサを目指した微小孔封止技術に関する研究」
  • 2012(平成24)年度
    • 田島達也，修士論文「多段階エッチングを用いた円筒型熱式Si-MEMSセンサの開発」
    • 長谷川達哉，修士論文「MEMS加工プロセスがSi微細構造体の破壊強度に及ぼす影響」
    • 濱田和明，修士論文「単結晶シリコン薄膜の衝撃破壊試験」
    • 三宅　力，修士論文「MEMS微細加工技術を用いた経皮吸収剤応用生分解性マイクロニードルの研究」
    • 山崎雄大，修士論文「気道内肺機能計測を目的とした自己温度補償型カテーテル流量センサの開発」
    • 石本晃朗，卒業論文「ウェアラブル化を目的とした熱作動式Si製加速度センサの開発」
    • 杉野智昭，卒業論文「マイクロ加工による表面微細形状が単結晶Siの曲げ強度に及ぼす影響」
    • 田中雄太朗，卒業論文「ウェアラブル触覚センサのノイズ除去に関する研究」
    • 石岡稜司，卒業論文「ハイブリッド構造を用いた生分解性マイクロニードルに関する研究」
    • 小野良太，卒業論文「パリレン微細加工を用いた高速応答熱式流量センサに関する研究」
    • 柴田峻志，卒業論文「光学式壁面せん断応力センサに関する研究」
    • 山田貴之，卒業論文「気道内計測を目的としたカテーテル型流量センサに関する研究」