微細加工, MEMS, 材料評価のマイクロ・ナノプロセス研究グループHPへようこそ

研究業績

研究業績

学会誌印刷公表論文

  1. Yuko Aono, Junpei Sakurai, Tetsuo Ishida, Akira Shimokohbe and Seiichi Hata, “High-Throughput Time-Temperature-Transformation Diagram Measurement of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys Using Temperature Gradient Heating System” Science and Technology of Advanced Materials (Submitting) 
  2. Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata, “Novel Thermographic Method for Characterizing Transformation Temperatures of Thin Film Shape Memory Alloys Aimed at Combinatorial Approach” Japanese Journal of Applied Physics (Reviced)
  3. Yuko Aono, Junpei Sakurai, Tetsuo Ishida, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata, “High-Throughput Measurement Method for Time-Temperature-Transformation Diagram of Thin Film Amorphous Alloys” Applied Physics Express 3 (2010) 125601.
  4. Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masahiro Ando, Yuko Aono and Seiichi Hata; Searching for noble Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys for optical glass device molding die materials, Precision Engineering, (2010) (Accepted)
  5. Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masayuki Ando and Seiichi Hata, Combinatorial searching for Ni-Nb-Zr amorphous alloys as glass lens molding die materials, Key Eng. Mater., 447-448, 661-665 (2010)
  6. Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe and Seiichi Hata, High-throughput Evaluation of Crystallization Temperature of Pd-Cu-Si System Using Integrated Thin Film Samples, Materials Science Forum 654-656, 2426 (2010)
  7. Junpei Sakurai, Yuko Aono, Yui Ishida and Seiichi Hata, Characteristics of Ti-Ni-Zr Thin Film Metallic Glasses Exhibiting Shape Memory Effect After Crystallization, Materials Science Forum 654-656, 1066 (2010)
  8. Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata, Evaluation of the validity of crystallization temperature measurements using thermograpy with different sample configurations, Jpn. J. Appl. Phys., 49, 076601 (7p) (2010)
  9. Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamuchi, Mitsuhiro Abe, and Akira Shimokohbe, Searching for Pt-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Optical Glass Lenses Molding Materials, Precision Engineering, 34, 431-439 (2010)
  10. Kee-Bong Choi, Jae Jong Lee, Seiichi Hata, A piezo-driven compliant stage with double mechanical amplification mechanisms arranged in parallel, Sensors and Actuators A 161, 173–181 (2010)
  11. 秦誠一,桜井淳平,阿部充博,安藤正将,青野祐子,下河辺明;ガラス成形金型用Ptフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索,日本機械学会論文集(C編), 76, 682-684 (2010)
  12. Sheng Wang, Dongming Sun, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, Driving mechanism, design, fabrication process and experiments of a cylindrical ultrasonic linear microactuator, IEEE Transactions on UFFC(Accepted).
  13. D. M. Sun, S. Wang, S. Hata, J. Sakurai, A. Shimokohbe, Theoretical and experimental investigation of the traveling wave propagation on a several-millimeter-long cylindrical pipe driven by piezoelectric ceramic tubes, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 57 [7], 1600-1611 (2010)
  14. Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe, Axial vibration characteristics of a cylindrical, radially polarized piezoelectric transducer with different electrode patterns, Ultrasonics, Volume 50, Issue 3, Pages 403-410 (2010. 3)
  15. Dongming Sun, Sheng Wang, Junpei Sakurai, Kee-Bong Choi, Akira Shimokohbe, Seiichi Hata, A piezoelectric linear ultrasonic motor with the structure of circular cylindrical stator and slider, SMART MATERIALS AND STRUCTURES, Vol. 19, Issure 4, 045008 (9pp), (2010.2)
  16. 秦 誠一,藤田敏充,桜井淳平,下河辺明,単一アークプラズマガンを用いたコンビナトリアル蒸着法,材料, 58,[10],821-826 (2009)
  17. D. M. Sun, S. Wang, S. Hata, J. Sakurai, A. Shimokohbe, Cylindrical ultrasonic linear microactuator based on quasi-traveling wave propagation on a thin film metallic glass pipe supported by a piezoelectric ceramic tube, Sensors and Actuators, A: physical,156, 359–365 (2009.11.6)
  18. Sheng Wang, Dongming Sun, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe, Fabrication of thin film metallic glass (TFMG) pipe for a cylindrical ultrasonic linear micro-actuator, Sensor and Actuator A Physical, Vol.153, pp.120-126 (2009)
  19. Dongming Sun, Sheng Wang, Junpei Sakurai, Kee-Bong Choi, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, “A traveling wave type of piezoelectric ultrasonic bidirectional linear microactuator”, Applied Physics Express, 2, 046503 (2009)
  20. Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe, Vibration characteristics of a cylindrical shell with 25 µm thickness fabricated by the rotating sputtering system, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, Vol. 56, No. 3, March, 622-630 (2009)
  21. Seiichi Hata, Yuko Aono, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe, Measurement of Crystallization Temperature Using Thermography for Thin Film Amorphous Alloy Samples, Applied Physics Express, Vol. 2, No. 3, 036501 (2009)
  22. Junpei SAKURAI, Seiichi HATA and Akira SHIMOKOHBE, Characteristics of Cu-Zr Thin Film Metallic Glasses Fabricated by a Carousel-Type Sputtering System, Jpn. J. Appl. Phys.,48, 025503 (2009)
  23. Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe, Driving mechanism and experimental realization of a cylindrical ultrasonic linear microactuator, Microelectronic Engineering, Vol. 86, Issues 4-6, pp.1262-1266 (2009)
  24. Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shinokohbe, Characterization of the Pt-Hf-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Precise Optical Glass Lens Mold, J. Solid Mechanics and Mat. Eng., 3, 1022-1032, (2009)
  25. Masaaki OTSU, Yuki IDE, Junpei SAKURAI Seiichi HATA and Kazyaki TAKASHIMA, Laser Forming of Thin Film Metallic Glass, Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering, Vol.3, No. 2, 387- 395 (2009)
  26. 田邊力也, 秦 誠一, 下河辺 明,積層型MEMS血球分析チップの開発,精密工学会誌 ,74, [7],746-751 (2008)
  27. Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe, Behavior of Joining Interface between Thin Film Metallic Glass and Silicon Nitride at Heating, Materials Science & Engineering B, 148, 149-153 (2008)
  28. Yuji Matsumoto, Miki Hiraoka, Masao Katayama, Seiichi Hata, Mikio Fukuhara, Takeshi Wada, Hisamichi Kimura and Akihisa Inoue, In situ analysis of the thermal behavior in the Zr-based multi-component metallic thin film by pulsed laser deposition combined with UHV-laser microscope system, Materials Science & Engineering B, 148, 179-182 (2008)
  29. 秦 誠一,桜井淳平,下河辺明,新しいPt基アモルファス合金を用いたガラスレンズ成形用金型の試作,日本機械学会論文集C編,74, [740],1020-1025 (2008)
  30. 山内隆介,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明, ガラスレンズ成形金型用の新しいアモルファス合金のコンビナトリアル探索―結晶化開始温度,機械特性の評価―,精密工学会誌 ,74, [3],252-263 (2008)
  31. Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe, Search for Novel Amorphous Alloys with High Crystallization Temperature by Combinatorial Arc Plasma Deposition, Applied Surface Science, 254, [3], 738-742 (2007)
  32. Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe, Combinatorial Arc Plasma Deposition Search for Ru-based Thin Film Metallic Glass, Applied Surface Science, 254, [3], 720-724 (2007)
  33. Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, A Hemoglobin and Volum Measurement Sensor for Point of Care Testing Analyzer using MEMS Process, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 127, [5], 267-271 (2007)
  34. Junpei Sakurai Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe, Searching for Novel Ru-Based Thin Film Metallic Glass by Combinatorial Arc Plasma Deposition, Jpn. J. Appl. Phys., 46, [4A], 1590-1595 (2007)
  35. Takashi Fukushige, Takehiko Hayashi, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, Built-in Capacitive Displacement Sensor with Long Full-Scale Range for Electrostatic Microactuators, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 126, [9], 522-527 (2006)
  36. Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, A MEMS complete blood count sensor with vanes for reduction in influence of electrolysis gas, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, [7], 297-301 (2006)
  37. Ryusuke YAMAUCHI, Seiichi HATA, Junpei SAKURAI and Akira SHIMOKOHBE, Combinatorial Search for Low Resistivity PdCuSi Thin Film Metallic Glass, Jpn. J. Appl. Phys., 45, [7], 5911-5919 (2006)
  38. Seiichi HATA, Ryusuke YAMAUCHI, Junpei SAKURAI and Akira SHIMOKOHBE, Combinatorial Arc Plasma Deposition of Thin Films, Jpn. J. Appl. Phys., 45, [4A], 2708-2713 (2006)
  39. Rikiya Tanabe, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe, MEMS complete blood count sensors designed to reduce noises from electolysis gas, Microelectronic Engineering, 83, [4-9], 1646-1650 (2006)
  40. T. Fukushige, S. Hata, and A. Shimokohbe, A MEMS Conical Spring Actuator Array, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, 14, [2], 243-253 (2005)
  41. Yoshisato YOKOYAMA ,Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU and Akira SHIMOKOHBE: On-Chip Variable Inductor Using Microelectromechanical Systems Technology, Jpn. J. Appl. Phys., 42, 2190-2192 (2003)
  42. 秦 誠一,加藤友和,福重孝志,下河辺 明:集積化円すいばねマイクロアクチュエータ,精密工学会誌, 69, [3], 438-442,(2003)
  43. Takashi Fukushige, Yoshisato Yokoyama, Seiichi Hata, Kazuya Masu and Akira Shimokohbe: Fabrication and Evaluation of On-Chip Micro Variable Inductor, Microelectronic Engineering, 67-68, 582-587(2003)
  44. Hee-Won Jeong, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe: Microforming of Three-Dimensional Microstructures from Thin Film Metallic Glass, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, 12, [1], 42-52 (2003)
  45. Kaiji Sato, Kentaro Ito, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe: Self-alignment of microparts using liquid surface tension - behavior of microparts and alignment characteristics -, Precision Engineering, 27, 42-50(2003)
  46. 秦 誠一,下河辺明:薄膜金属ガラスアクチュエータ,精密工学会誌, 68, [5], 657-661(2002)
  47. 秦 誠一,劉 永東,和田晃一,下河辺明:薄膜金属ガラスの成膜と物性,精密工学会誌, 67, [10], 1708-1713(2001)
  48. YONGDONG LIU, SEIICHI HATA, KOUICHI WADA and AKIRA SHIMOKOHBE: Thermal, Mechanical and Electrical Properties of Pd-based Thin Film Metallic Glass, Jpn. J. Appl. Phys., 40, 5382-5388 (2001)
  49. 秦 誠一,劉 永東,長峯靖之,下河辺明:金属ガラスの精密・微細加工に関する基礎的研究(Zr基バルク金属ガラスの引張変形挙動),日本機械学会論文集C編, 67, [660], 313-318(2001)
  50. 早乙女康典,秦 誠一,坂口幸二:超塑性複合加工によるマイクロ2段歯車の創製,塑性と加工, 41, [468],49-53(2000)
  51. 佐藤海二, 関 智紀, 秦 誠一, 下河辺明: 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメントの原理と特性, 精密工学会誌, 66, [2], 282-286(2000)
  52. 秦 誠一, 後藤 潤, 佐藤海二, 下河辺明: 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-(第2報)薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作-, 精密工学会誌, 66, [2], 287-291(2000)
  53. 秦 誠一, 後藤 潤, 佐藤海二, 下河辺明: 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-(第1報)薄膜金属ガラスの製作と過冷却液体域を利用した微細成形-, 精密工学会誌, 66, [1], 96-101(2000)
  54. 秦 誠一, 山田典弘, 早乙女康典, 井上明久, 下河辺明: 金属ガラスの精密・微細加工に関する研究(Zr基金属ガラスの過冷却液体域における成形性), 日本機械学会論文集C編, 65, [633], 346-352(1999)
  55. 大塚二郎, 秦 誠一, 下河辺明, 越水重臣: 延性モード切削加工用の超精密変位台の開発, 精密工学会誌, 64, [4], 546-551(1998)

国際会議発表論文(査読有)

  1. Yuko Aono, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, Novel Crystallization Temperature Measurement Method for Combinatorial Evaluation using Infrared Thermography, Proc. of 2009 MRS Spring Meeting, 1159E, G1-4. CD-ROM (2009.4, San Francisco, USA), (Oral)
  2. Sheng Wang, Dongming Sun, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, A cylindrical ultrasonic linear microactuator, Proceedings of 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing (ICM&P 2008), CD-ROM (2008 Oct. 7-10. Northwestern, Evanston, USA) (Oral)
  3. Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Taiyo Ueshima, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe, Search for Novel MEMS Materials using a Combinatorial Method, Proceedings of 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing (ICM&P 2008), CD-ROM (2008 Oct. 7-10. Northwestern, Evanston, USA) (Postor)
  4. Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Mitsuhiro Abe, Yuko Aono and Akira Shimokohbe, Combinatorial evaluation of heat and oxidation resistances of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys, Processings of 5th International Conference on Combinatorial and High-Throughput Materials Science. 1035 (2008, Sep. Germany), (Poster)
  5. Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe, Driving mechanism and experimental realization of a cylindrical ultrasonic linear microactuator, Book of abstracts in 34th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE 2008), 117 (2008. September 15-18, Athens, Greece), (Oral)
  6. Yuko Aono, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe, New Measurement Method for Crystallization Temperature of Thin Film Amorphous Alloy, JUNIOR EUROMAT 2008, CD-ROM (2008. Jul.14-18, Lausanne, Switzerland), (Oral)
  7. Wang Sheng, Dongming Sun, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, A novel cylindrical ultrasonic linear microactuator, Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Zurich 2008), 456-459 (2008.May 18-22.Zurich, Switzerland), (Poster)
  8. Masaaki Otsu, Yuki IDE, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Kazuki Takashima, Laser Forming of Pd-Based Thin Film Metallic Glass, Proc. 4th KU-KITECH Symposium on Bulk Metallic Glasses and Advanced Materials, 56, (2008.5, Kumamoto, Japan)
  9. J. Sakurai, S. Hata, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe: Combinatorial Searching for Nobel Metal-based Amorphous Alloy Thin Films for Glass Lens Mold, Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A1.6 CD-ROM (2007.11, Boston, MA, USA), (Oral)
  10. M. Abe, S. Hata, R. Yamauchi, J. Sakurai and A. Shimokohbe: Combinatorial Searching for Pt-Zr-Ni Thin Film Amorphous Alloys for Glass Lens Mold, Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.14 CD-ROM (2007.11, Boston, MA, USA), (Poster)
  11. Y. Aono, S. Hata, J. Sakurai, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe: Basic Research on Combinatorial Evaluation Method for Coefficient of Thermal Expansion, Proc. of 2007 MRS Fall Meeting A6.8 CD-ROM (2007.11, Boston, MA, USA), (Poster)
  12. Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe: Behavior of joining interface between thin film metallic glass and silicon nitride at heating, Abstracts in1st International Conference on Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC) and 2nd International Conference on Joining Technology for New Metallic Glasses and Inorganic Materials (JTMC), 56 (2007. 5. 23-25, Kanagawa), (Poster)
  13. R. Tanabe, S. Hata, A. Shimokohbe: A Disposable Concept Laminated MEMS Hematology Chip, Conference Proceedings of 7th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, 1, 45-48, (2007 Bremen, Germany),(Oral)
  14. Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe: Cathodic Arc Plasma Combinatorial Material Synthesis for Composition Search of New Amorphous Alloy, Proc. of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA) , (Poster)
  15. Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe: Evaluation of Mo-based Amorphous Alloy Thin Films Exhibiting High Crystallization Temperature, Proc. of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA),(Poster)
  16. Ryusuke Yamauchi, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe: Combinatorial Optimization of Low Electrical Resistivity Pd-based Thin Film Metallic Glasses, Proc. of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA) , (Oral)
  17. Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Hiroyuki Tachikawa and Akira Shimokohbe: Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass, Proc. of 18th International Congress of Mechanical Engineering (COBEM 2005), CD-ROM (2005.11, Ouro Preto, Brazil), (Oral)
  18. T. Fukushige, S. Hata and A. Shimokohbe: Integrated conical spring linear actuators for tilting-mirror applications, Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005), pp. 12-13 (2005.9 Vienna, Austria), (Oral)
  19. R. Tanabe, S. Hata and A. Shimokohbe: A complete blood count micro sensor designed to reduce noise from electrolysis gas, Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005 (MNE2005), pp.622-623,(2005.9 Vienna, Austria), (Oral)
  20. T. Fukushige, S. Hata, Takehiko Hayashi, and A. Shimokohbe: Design and Driving Methodology of Out-of-Plane Electrostatic Microactuator with Extended Stable Motion Range, Proc. IPACK2005, CD-ROM, pp. IPACK2005-73145, (2005.6. San Francisco, USA), (Oral)
  21. Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe: Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials, Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005, 479-482, (2005.1. Miami, USA), (Poster)
  22. J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe: Novel fabrication method of metallic glass thin film using carousel type sputtering system, Proc. of SPIE Micro- and Nanotechnology: Materials, Processes, Packaging, and Systems II, 260-267, (2004. 12. Sydney, Australia), (Oral)
  23. T. Fukushige, S. Hata and A. Shimokohbe: A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking, Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004), 15-16 (2004.6.Glasgow, Scotland), (Poster)
  24. S. Hata, H. W. JEONG and A. Shimokohbe: 2-DOF thin film metallic glass microactuator, Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004), 9-10 (2004.6.Glasgow, Scotland), (Oral)
  25. T. Fukushige, S. Hata and A. Shimokohbe: Large-output-force out-of-plane MEMS actuator array, Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology, vol. 5276, 240-248 (2003.12.Perth, Australia), (Oral)
  26. Seiichi Hata, Takashi Yamanaka, Jyunpei Sakurai and Akira Shimokohbe: Micro dome shape structures made of thin film metallic glass, Micro System Technology 2003 (MST '03), 180-187 (2003. 10.7-8 Munich, Germany) , (Oral)
  27. J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe: Reduction of electrical resistivity in PdCuSi thin film metallic glass, Proceedings of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (ATEM’03), CD-ROM (2003. 9.10-12 Nagoya, Japan) , (Oral)
  28. Seiichi Hata, The Application of Thin Film Metallic Glasses to 3D Micro Actuators, Proceedings of International Symposium on Smart Actuators and Sensors,1-8 (2003. 7.18 Tokyo, Japan) (Invited speaking)
  29. Seiichi Hata, Takashi Fukushige and Akira Shimokohbe, Displacement Characteristics of Microactuators Made of Thin Film Metallic Glass, Proceedings of CPT2002, 162-167 (2002.10. Daejeon, Korea), (Oral)
  30. Takashi Fukushige, Yoshisato Yokoyama, Seiichi Hata, Kazuya Masu and Akira Shimokohbe: Fabrication and Evaluation of On-Chip Micro Variable Inductor: Book of abstracts in Micro- and Nanoengineering International Conference (MNE 2002), 210-211 (2002.9. Lugano, Switzerland) , (Poster)
  31. Yoshisato YOKOYAMA, Takashi FUKUSHIGE, Seiichi HATA, Kazuya MASU and Akira SHIMOKOHBE: On-Chip Variable Inductor Using MEMS Technology; Extended Abstracts of the 2002 International Conference on Solid State Devices and Materials, 306-307 (2002.9. Nagoya, JAPAN), (Oral)
  32. Seiichi Hata, Tokokazu Kato, Takashi Fukushige and Akira Shimokohbe: Integrated Conical Soring Linear Actuator, Book of abstracts in Micro- and Nanoengineering International Conference (MNE 2002), 208-209 (2002.9. Lugano, Switzerland), (Poster)
  33. Hee-Won JEONG, Seiichi HATA and Akira SHIMOKOHBE: Micro-Forming of Thin Film Metallic Glass by Local Laser Heating; Technical Digest of The 15th IEEE International Conference on MEMS 2002, 372-375 (2002.1. Las Vegas, USA), (Poster)
  34. Seiichi HATA, Yutaka YAMADA, Junichi ICHIHARA and Akira SHIMOKOHBE: A Micro Lens Actuator for Optical Flying Head; Technical Digest of The 15th IEEE International Conference on MEMS 2002, 507-510 (2002.1. Las Vegas, USA), (Poster)
  35. S. HATA, Y. LIU, T. KATO and A. SHIMOKOHBE: Three-Dimensional Micro-Forming Process of Thin Film Metallic Glass in the Supercooled Liquid Region; Proceedings of 10th International Conference on Precision Engineering (ICPE), 37-41 (2001. 7. Yokohama, Japan), (Oral)
  36. Y. LIU, S. HATA, K. WADA and A. SHIMOKOHBE: Thin Film Metallic Glasses: Fabrication and Property Test; Technical Digest of The 14th IEEE International Conference on MEMS 2001, 102-105 (2001.1. Interlaken, Switzerland), (Poster)
  37. K. SATO, K. ITO, S. HATA and A. SHIMOKOHBE: Self-alignment of Microparts Using Liquid Surface Tension - Examination of the Alignment Characteristics -, Proceedings of ASPE's 15th Annual Meeting, 345-348 (2000. Arizona, USA), (Oral)
  38. K. SATO, S. HATA and A. SHIMOKOHBE: Self-alignment for Microparts Assembly using Water Surface Tension; Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems MICRO/MEMS'99, 3892, 321-328 (1999.10.Queensland, Australia), (Oral)
  39. S. HATA, K. SATO and A. SHIMOKOHBE: Fabrication of Thin Film Metallic Glass and its Application to Microactuator; SPIE International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems MICRO/MEMS'99, 3892, 97-108 (1999.10.Queensland, Australia), (Oral)
  40. S. HATA, N. YAMADA, Y. SAOTOME, A. INOUE and A. SHIMOKOHBE: Precision and Micro Machining of Metallic Glasses -Formability of Zr Based Metallic Glasses in the Supercooled Liquid State-; Proceedings of China-Japan Bilateral Symposium on Advanced Manufacturing Engineering, 81-86 (1998.10. Yellow Mt., China), (Oral)

国際会議発表論文(査読無)

  1. J. Sakurai, S. Hata and A. Shimokohbe: Characteristics of Thin Film Metallic Glasses for MEMS and Precise Part, Proceedings of Second TIT-BIT Joint Workshop on Mechanical Engineering, CD-ROM (2007. 8. 16-18, Tokyo), (Oral)
  2. Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi and Akira Shimokohbe: Searching for Ru-based Amorphous Thin Film and Thin Film Metallic Glass with Combinatorial Arc Plasma Deposition, Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology, pp. 41 (2006. 12. 3-6, San Juan, Puerto Rico), (Oral)
  3. Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe: The Search for Novel Amorphous Thin Films using Combinatorial Arc Plasma Deposition, Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology, pp. 63 (2006. 12. 3-6, San Juan, Puerto Rico), (Poster)

著書

  1. 秦 誠一:新機能材料 金属ガラスの基礎と産業への応用,㈱テクノシステム,(基礎31.薄膜化,応用10. マイクロアクチュエータ 分担),2009.1.19 出版
  2. 秦 誠一:ソフトアクチュエータ 開発の最前線~人工筋肉の実現をめざして~,㈱エヌ・ティー・エス,(第5部,第1章分担),2004.10.1出版
  3. 秦 誠一:マイクロレンズ(アレイ)の超精密加工と量産化技術,㈱技術情報協会,(第6章分担),2003.4.28出版

解説等

  1. Seiichi Hata: Search for and application of novel thin film amorphous alloys for micro-nano structure, Jsme News vil.20, No.2 Nov., 4-6 (2009)
  2. 青野裕子,秦 誠一:薄膜アモルファス合金のコンビナトリアル評価法,日本機械学会 機械材料・材料加工部門ニュースレター,[38],10-11(2009.11)
  3. 秦 誠一:2009年機械工学年鑑,6.2.6特殊加工,日本機械学会誌,112, [1089], 630(2009.8)
  4. 秦 誠一:民間航空機のための超塑性成形を用いたコストと重量削減技術(日本語要約) Cost and Weight Reduction Technology for the Commercial Airplane using Superplastic Forming (Japanese summary),日本機械学会誌,112,[112],539(2009.7)
  5. 秦 誠一:マイクロ・ナノ加工技術の現状と将来展望,機械の研究,61,[3],331-335(2009.3)
  6. 秦 誠一:コンビナトリアル技術を用いた新しいMEMS材料の探索,化学工業,59, [9], 73-77(2008)
  7. 秦 誠一:2008年機械工学年鑑,6.2.6特殊加工,日本機械学会誌,111, [1077], 661(2008.8)
  8. 秦 誠一:新しいアモルファス合金のレンズ金型材料への応用,日本機械学会 機械材料・材料加工部門ニュースレター,[34],8-11(2007.11)
  9. 秦 誠一:新しいアモルファス合金薄膜のコンビナトリアル創成,ケミカルエンジニアリング,52, [1], 7-12(2007)
  10. 秦 誠一,福重孝志:新しい静電型MEMSアクチュエータ=円すいばねMEMSアクチュエータとその固着防止駆動法=,光アライアンス, 15, [10], 19-26(2004)

国内会議発表論文

  1. 青野祐子,桜井淳平,秦 誠一,下河辺 明:サーモグラフィを用いた薄膜アモルファス合金の結晶化開始温度のコンビナトリアル評価法,2009年春季第56回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2,670 (2009.3.30-4.2 東京)
  2. Seiichi Hata, Yuko Aono, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe: Need-based development of materials for micro and nano scale stractures using combinatorial technology, Processings of the 25th Sensor Symposium, IEEJ SMS Symposium on Sensors, Micromachines & Applied Systems, 771-772 (2008, October 22-24, Okinawa, Japan), (Oral/Poster)
  3. Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Akira Shimokohbe: Development of the cylindrical ultrasonic linear microactuator, Processings of the 25th Sensor Symposium, IEEJ SMS Symposium on Sensors, Micromachines & Applied Systems, 797-798 (2008, October 22-24, Okinawa, Japan), (Poster)
  4. 井手雄紀, 大津雅亮, 櫻井淳平, 秦誠一, 高島和希:Pd基金属ガラス箔のレーザフォーミング,日本金属学会九州支部日本鉄鋼協会九州支部共催平成20年度合同学術講演大会講演概要集,53,(2008,9)
  5. 田邉力也,秦 誠一,下河辺明:整流機能付きMEMS血球計数センサの開発,第27回日本シミュレーション学会大会講演論文集,391-394,(2008.6)
  6. 大津雅亮, 井手雄紀, 櫻井淳平, 秦誠一, 高島和希:金属ガラス箔のレーザフォーミング,平成20年度塑性加工春季講演会講演論文集,177-178(2008.5)
  7. 青野祐子,桜井淳平,秦 誠一:赤外線カメラを用いたアモルファス合金の結晶化開始温度測定,2008年春季第55回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2,647 (2008.3.17-18 東京)
  8. 秦 誠一,田邊力也,桜井淳平,下河辺 明:集積化MEMS血球分析チップ,日本機械学会IIP2008情報・知能・精密機器部門講演会,238-241 (2008.3.17-18 東京)
  9. 秦 誠一,桜井淳平,青野祐子,下河辺 明:コンビナトリアル手法によるMEMS用新材料の探索,日本機械学会IIP2008情報・知能・精密機器部門講演会,206-209 (2008.3.17-18 東京)
  10. Sun Dongming, Wang Sheng, Hata Seiichi, Shimokohbe Akira: Cylindrical ultrasonic linear microactuator with 10mm length stator,2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,114-115 (2008.3.17-19 東京)
  11. Wang Sheng, Sun Dongming, Hata Seiichi, Shimokohbe Akira: Standing wave type of the cylindrical ultrasonic linear microactuator(CULM),2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,113-114 (2008.3.17-19 東京)
  12. 秦 誠一,青野祐子,桜井淳平,下河邉 明:線膨張係数のコンビナトリアル評価法,3大学3研究所連携プロジェクト公開討論会講演概要,125-126 (2008.3.14 東京)
  13. Dongming Sun, Sheng Wang and Seiichi Hata, “Vibration analysis of a cylindrical ultrasonic linear microactuator using COMSOL Multiphysics”, COMSOL conference, Tokyo, December 30, 2007, Japan. (Invited oral)
  14. 桜井淳平,秦 誠一,山内隆介,下河辺 明:高機能ガラスレンズ金型材料の探索I-白金族基非晶質合金の探索-,2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,241-242 (2007.9.12-14 旭川)
  15. 山内隆介,秦 誠一,桜井淳平,下河辺 明:高機能ガラスレンズ金型材料の探索II-機械的特性,切削特性の改善-,2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,243-244 (2007.9.12-14 旭川)
  16. Sun Dongming, Wang Sheng, Hata Seiichi, Shimokohbe Akira: Research on the driving mechanism for a new type of ultrasonic linear microactuator, Proc. Autumn meeting of JSPE, 747-748 (2007. 9. 12-14 Asahikawa)
  17. Wang Sheng, Sun Dongming, Hata Seiichi, Shimokohbe Akira: Design and simulation of cylindrical ultrasonic linear microactuator, Proc. Autumn meeting of JSPE, 749-750 (2007. 9. 12-14 Asahikawa)
  18. 青野祐子,秦 誠一,桜井淳平,山内隆介,下河辺 明:MEMS材料のコンビナトリアル評価 ―線膨張係数と縦弾性係数の同時評価法―,2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,829-830 (2007.9.12-14 旭川)
  19. 知京豊裕,桜井淳平,秦 誠一,松本祐司,大毛利健治,柳生進二郎,吉武道子,渡部平司,山田啓作,下河邉 明:次世代メタルゲート材料としてのアモルファス合金の探査,2007年春季第54回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2.902 (2007.3.27-30 東京)
  20. 秦 誠一,藤田敏充,山内隆介,桜井淳平,下河辺 明:合金カソードを用いたコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法の基礎的研究,2007年春季第54回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2.698(2007.3.27-30 東京)
  21. 田邊力也,秦 誠一,下河辺 明:MEMSプロセスを応用した,積層型血球分析チップの製作,2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,1113-1114 (2007.3.20-22 東京) 
  22. 木村友治,秦 誠一,桜井淳平,下河辺 明:バイメタルカンチレバーのプロセス条件のコンビナトリアル探索法,2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,403-404 (2007.3.20-22 東京) 
  23. 秦 誠一,山内隆介,桜井淳平,下河邉 明:薄膜金属ガラスと窒化シリコン接合界面の加熱時挙動,3大学3研究所連携プロジェクト公開討論会講演概要,111-112 (2007.3.9 大阪)
  24. 秦 誠一,桜井淳平,下河邉明:高機能光学素子金型用アモルファス合金のコンビナトリアル探索,第14回機械材料・材料加工技術講演会講演論文集,107-108(2006.11.25-26, 千葉)
  25. 吉田和弘,堀井宣孝,秦 誠一,横田眞一,下河辺 明:薄膜金属ガラスを応用した集積形ERマイクロアクチュエータの開発,平成18年度秋季フィールドパワーシステム講演会講演論文集,49-51(2006.11.9-10 静岡市)
  26. Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, A MEMS homoglobin and volume measurement sensor, Proc. of 23nd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems pp.131-134 (2006. 10, Takamatu, Japan), (Oral)
  27. 秦 誠一,赤松宏明,福重孝志,下河辺 明:回転型マイクロアクチュエータ ―形状,駆動方法の検討―,2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,927-928(2006)
  28. 林 健彦,福重孝志,秦 誠一,下河辺 明:ビルトインセンサによる静電マイクロアクチュエータの変位制御,2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,925-926(2006)
  29. 赤松宏明,秦 誠一,福重 孝志,下河辺 明:基板面外回転マイクロアクチュエータの基礎研究,2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,955-956(2005)
  30. 秦 誠一,山内隆介,桜井淳平,下河邉 明:カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成Ⅰ,2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集,9a-D-2(2005)
  31. 山内隆介,秦 誠一,桜井淳平,下河邉 明:カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成Ⅱ,2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集,9a-D-3(2005)
  32. 吉田和弘,堀井宣孝,秦 誠一,横田眞一,下河辺 明:薄膜金属ガラスを用いた多自由度流体マイクロアクチュエータの提案,日本機械学会関東支部山梨ブロック山梨講演会講演論文集,213-214(2005)
  33. Rikiya Tanabe, Seiichi Hata and Akira Shimokohbe, A MEMS complete blood count sensor with vanes, Proc. of 22nd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems pp.357-361 (2005. 10, Tokyo), (Oral)
  34. 秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:MEMS用材料としての薄膜金属ガラスとその微細加工,日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集,18-19(2005)
  35. 西ヶ谷啓太,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:薄膜金属ガラスのマイクロブロー成形,2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,477-478(2005)
  36. 秦 誠一,林 健彦,福重孝志,下河辺明:アナログ的基板面外変位静電マイクロアクチュエータ,2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,887-888(2004)
  37. 西ヶ谷啓太,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作―窒化銅を発ガス材として用いたマイクロブロー成形―,2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,555-556(2004)
  38. 福重孝志,秦 誠一,下河辺明:静電型MEMSアクチュエータの新しい固着防止駆動方法,2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,1129-1130(2004)
  39. 上島太陽,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:集積化薄膜金属ガラスマイクロプローブ,2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,783-784(2004)
  40. 桜井淳平,秦 誠一,下河辺明:CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす 時効の効果, 日本金属学会講演概要,541(2003)
  41. 福重孝志,秦 誠一,下河辺明:高出力・高集積基板面外駆動マイクロアクチュエータ,2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,576(2003)
  42. 秦 誠一,山中 崇,桜井淳平・下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作―プロセスの改良と変形に関する考察―,2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,575(2003)
  43. 桜井淳平,秦 誠一,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた集積化マイクロプローブ(第2報)- 薄膜金属ガラスの低電気抵抗化-,2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,391(2003)
  44. 和田晃一,北爪秀憲,奈良崎亘,斉藤忠男,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた集積化マイクロプローブ(第1報)-薄膜金属ガラスマイクロプローブとその特性-,2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,390(2003)
  45. 秦 誠一,下河辺明:新しいMEMS材料としての薄膜金属ガラス,電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料,23-27(2002)(招待講演)
  46. 福重孝志,横山佳巧,秦 誠一,益 一哉,下河辺明:高周波回路用可変マイクロインダクタの製作と評価,2002年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,333(2002)
  47. 山中 崇,秦 誠一,桜井淳平,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作,2002年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,326(2002)
  48. 鄭 希元,秦 誠一,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた2自由度マイクロアクチュエータの製作,2002年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,108(2002)
  49. 秦 誠一,加藤友和,下河辺明:集積化円錘ばねマイクロアクチュエータ,2002年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,24(2002)
  50. 下河辺明,秦 誠一,劉 永東:薄膜金属ガラスによるマイクロ構造体の製作とその応用,東京工業大学精密工学研究所第34回シンポジウム「Micro/Nano Mechano Systems」講演予稿集,33-42,2001
  51. 加藤友和,秦 誠一,下河辺明:基板面外円錐ばねマイクロアクチュエータ,2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,591(2001)
  52. 鄭 希元,秦 誠一,下河辺明:レーザ局所加熱による薄膜金属ガラスのマイクロフォーミング,2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,166(2001)
  53. 秦 誠一,山田 裕,市原順一,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いたマイクロレンズアクチュエータ,2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,221(2001)
  54. 蛸島武尚,奈良崎亘,和田晃一,北爪秀憲,本山慎一,柳 永勛,江刺正喜,秦 誠一,下河辺明:マイクロマシン技術を用いたLSIテスト用微細プローブ・ピンの開発,平成13年電気学会全国大会講演論文集,1078(2001)
  55. 和田晃一,安岡正純,渡辺一貴,蛸島武尚,秦 誠一,下河辺明:Zr系およびPd系金属ガラス薄膜の抵抗率測定,第47回応用物理学関連連合講演会講演予稿集No.2,624(2000)
  56. 佐藤海二,伊藤健太郎,秦 誠一,下河辺明:液体の表面張力を利用したマイクロ部 品のセルフアライメント - 濡れ性の高い面の形状がアライメント性能に与える影響 -,2000年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,400(2000)
  57. Liu Yongdong, Seiichi Hata, Kouichi Wada and Akira Shimokohbe: Physical properties of Pd-based thin film metallic glass, Proc. Autumn meeting of JSPE, 402 (2000)
  58. 秦 誠一,劉 永東,加藤友和,下河辺明:薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第3報)-過冷却液体域を利用した立体構造製作法の検討-,2000年度精密工学会秋季講演会論文集,401(2000)
  59. 佐藤海二,伊藤健太郎,秦 誠一,下河辺明:液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント(マイクロ部品や液滴の挙動とセルフアライメント精度),日本機械学会IIP2000情報・知能・情報機器部門講演会講演論文集,137-139(2000)
  60. 秦 誠一,松崎将健,崔 起鳳,佐藤海二,下河辺明;バルク金属ガラスを用いた微小球面軸受,日本機械学会IIP2000 情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集,141-142(2000)
  61. 秦 誠一,和田晃一,佐藤海二,下河辺明;薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報)-Pd基薄膜金属ガラスの成膜とその微細加工-,2000年度精密工学会春季講演会論文集,401(2000)
  62. 佐藤海二, 関 智紀, 秦 誠一, 下河辺明: 水の表面張力を利用したマイクロ部品組立のためのセルフアライメント, 1999年度精密工学会秋季講演会論文集,128(1999)
  63. 秦 誠一, 後藤 潤, 佐藤海二, 下河辺明: ステップ駆動静電マイクロアクチュエータの研究, 1999年度精密工学会秋季講演会論文集,119(1999)
  64. 秦 誠一, 後藤 潤, 長峯靖之, 佐藤海二, 下河辺明: 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-過冷却液体域を利用した微細成形法-, 1999年度精密工学会秋季講演会論文集,118(1999)
  65. 秦 誠一, 石井達史, 佐藤海二, 下河辺明: 過冷却液体域を利用した金属ガラスの微細加工法, 日本機械学会1999年度年次大会講演論文集(Ⅰ), 409-410(1999)
  66. 秦 誠一, 後藤 潤, 佐藤海二, 下河辺明: 金属ガラスによる精密・微細構造物加工法の研究-スパッタ法による微細構造製作とその物性-, 1998年度精密工学会秋季講演会論文集,163(1998)
  67. 渡辺和俊, 秦 誠一, 太刀川博之, 佐藤海二, 下河辺明: 二次元アブソリュートエンコーダの原理とその応用, 1998年度精密工学会春季講演会論文集, 212(1998)
  68. 秦 誠一, 山田典弘, 早乙女康典, 井上明久: Zr基バルクアモルファス合金の過冷却液体域に於ける圧縮応力下の変形特性,第28回塑性加工春季講演会講演論文集,477-478 (1997)
  69. 秦 誠一, 山田典弘, 早乙女康典, 井上明久: Zr基バルクアモルファス合金の過冷却液体域に於ける超塑性流動を利用した精密成形,日本機械学会第74期通常総会講演会講演論文集,No97-1(Ⅲ),321-322 (1997)
  70. 千賀 徹, 秦 誠一, 小川治男: 微小領域における振動加工装置に関する研究(第2報), 1995年度精密工学会春季講演会論文集, 533-534 (1995)
  71. 秦 誠一,佐藤海二,大塚二郎,吉村靖夫,下河辺明:加工点制御型微小変位台の開発,日本機械学会第71期通常総会講演会講演論文集[Ⅳ],710-712(1994)
  72. 早乙女康典, 秦 誠一, 伊藤明俊, 坂口幸二: 超塑性の微細成形特性とマイクロ2段歯車の創成, 平成4年塑性加工春季講演会, 127-130(1992)

講演・講習会テキスト等

  1. 秦 誠一:日本機械学会機械材料・材料加工部門の作成した地球温暖化防止を目指したロードマップ,日本機械学会2009年度年次大会 2009.9.15(盛岡)
  2. 秦 誠一:薄膜金属ガラスのコンビナトリアル創成と高耐食性真空センサへの応用,「金属ガラス」イノベーションフォーラム・NEDO特別講座合同講演会(「ものづくり基礎講座」第14回技術セミナー) 2009.8.6(東大阪)
  3. 秦 誠一,桜井淳平:コンビナトリアル技術を用いたMEMS材料開発~薄膜金属ガラスを中心として~,“大学発”研究成果移転フォーラム エレクトロニクスフォーラム 神奈川県、神奈川R&D推進協議会 2008.7.25 (海老名 産業技術センター)
  4. 秦 誠一:コンビナトリアル技術による金属系新材料の探索とその実用化,大田区産業振興協会産学連携 第40回東京工業大学技術交流セミナー 2008.3.13(東京大田区産業プラザ)
  5. 秦 誠一:アモルファス合金による微細構造・MEMSの実現,㈶マイクロマシンセンター・第13回 マイクロナノ先端技術交流会 2007.11.9(東京)
  6. 秦 誠一:マイクロ・ナノ加工技術ロードマップ,日本機械学会 創立110周年記念事業 JSME技術ロードマップ公表・パネルシンポジウム 2007.10.26(東京)
  7. 秦 誠一:技術ロードマップ:マイクロ・ナノ加工技術から,日本機械学会2007年度年次大会特別企画 2007.9.11(東京)
  8. 秦 誠一:新しいアモルファス合金薄膜のコンビナトリアル創成,イノベーションジャパン新技術説明会 2006. 9. 13
  9. 秦 誠一:薄膜金属ガラスとそのマイクロマシンへの応用,キヤノン基盤技術フォーラム 2006.6.21(東京)
  10. 秦 誠一:マイクロ機能デバイス用材料としての薄膜金属ガラスとその応用,日本機械学会第18回マイクロデバイス設計・製造・実装に関する研究会 2005.2.18
  11. 秦 誠一:マイクロ/ナノシステム材料としての薄膜金属ガラスとその応用,精密工学会第21回マイクロ/ナノシステム研究専門委員会 2004.11.16
  12. 秦 誠一:薄膜金属ガラスを用いた新形態のマイクロアクチュエータ,精密工学会超精密位置決め専門委員会定例会講演前刷集(No.2004-2),53-63,2004.9.3
  13. 秦 誠一:薄膜金属ガラスの微細成形加工とそのMEMSへの応用,第2回塑性加工フォーラム 2004.4.15
  14. 秦 誠一:金属ガラスの微細加工とその応用,第23回過冷金属研究会 2003.7.30
  15. 秦 誠一:マイクロマシンの実用化と研究動向の最先端,横浜市工業技術支援センター テクノパートナー推進プロジェクト「先端・機械技術の応用」技術交流会テキスト2002.10.25
  16. 秦 誠一:驚異の技術マイクロマシン,目黒区社会教育講座テキスト,2002.7.13-14
  17. 秦 誠一:新しいマイクロ構造材料としての金属ガラス,神奈川テクノチェア2000 新技術コース次世代新素材とその機械システムへの展開テキスト,2000.11.6