微細加工, MEMS, 材料評価のマイクロ・ナノプロセス研究グループHPへようこそ

研究内容

研究内容

 本研究室では,以下のようなマイクロ・ナノ領域での微細加工,材料評価,材料創成とそのアプリケーションまで広範なテーマを網羅し研究を推進しています.

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新原理・新発想微細加工技術

新しい微細加工法

MEMS基盤技術に関する研究

超短パルスレーザを用いた微細加工に関する研究

  • 金属酸化物ナノ粒子の直接還元パターニングに関する研究

厚膜パターニングに関する研究

  • 耐熱マスクを用いたリフト・オフパターニングに関する研究

薄膜金属ガラスの立体的微細加工法

  • 過冷却液体域を利用した各種加工法による曲がりはり
  • マイクロブロー成形による微細中空構造
  • レーザ局所加熱による90°ねじりはり,90°曲がりはり  

新材料のコンビナトリアル探索と評価技術

コンビナトリアル成膜法

集積化MEMS・コンビナトリアル技術を用いた新機能材料探索

  • マイクロセンサ・アクチュエータに適した新しい磁歪材料の探索
  • 微細加工性に優れたPtフリーガラス成形金型材料の探索
  • 高腐食性・難成形性ガラス用金型コーティング材料の探索

ハイスループット評価法

新しい薄膜アモルファス合金・薄膜金属ガラス

  • Ru基薄膜金属ガラス
  • ガラス成形金型用Pt基アモルファス合金
  • Ptフリー耐熱アモルファス合金

新しい微細加工法,新材料を用いたMEMS,マイクロマシン

膜状熱電デバイスに関する研究

  • 熱電薄膜表面への微細周期構造付与に関する研究
  • 太陽光利用熱電発電デバイスに関する研究

新材料を用いたマイクロセンサ

  • 高耐久性油中水分センサ
  • 高耐食性メンブレン真空センサ

マイクロセンサ・アクチュエータデバイスに関する研究

マイクロバイオ・医用デバイスに関する研究

円筒形超音波マイクロアクチュエータ

薄膜金属ガラスマイクロアクチュエータ

  • 微小引張試験用マイクロアクチュエータ
  • 回転マイクロアクチュエータ
  • 円すいばねマイクロアクチュエータ
  • 集積化円すいばねマイクロアクチュエータ
  • 基板面外アナログ変位マイクロアクチュエータ
  • 2自由度マイクロアクチュエータ
  • マイクロレンズアクチュエータ