研究内容
研究内容
本研究室では，以下のようなマイクロ・ナノ領域での微細加工，材料評価，材料創成とそのアプリケーションまで広範なテーマを網羅し研究を推進しています．
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新原理・新発想微細加工技術
新しい微細加工法
MEMS基盤技術に関する研究
超短パルスレーザを用いた微細加工に関する研究
- 金属酸化物ナノ粒子の直接還元パターニングに関する研究
厚膜パターニングに関する研究
- 耐熱マスクを用いたリフト・オフパターニングに関する研究
薄膜金属ガラスの立体的微細加工法
- 過冷却液体域を利用した各種加工法による曲がりはり
- マイクロブロー成形による微細中空構造
- レーザ局所加熱による９０°ねじりはり，９０°曲がりはり
新材料のコンビナトリアル探索と評価技術
コンビナトリアル成膜法
- コンビナトリアル新対向ターゲットスパッタ法
- コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法
- 単一アークプラズマガンを用いたコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法
- コンビナトリアルスパッタ法
- コンビナトリアルMEMSプロセス探索
集積化MEMS・コンビナトリアル技術を用いた新機能材料探索
- マイクロセンサ・アクチュエータに適した新しい磁歪材料の探索
- 微細加工性に優れたPtフリーガラス成形金型材料の探索
- 高腐食性・難成形性ガラス用金型コーティング材料の探索
ハイスループット評価法
新しい薄膜アモルファス合金・薄膜金属ガラス
- Ru基薄膜金属ガラス
- ガラス成形金型用Pｔ基アモルファス合金
- Ptフリー耐熱アモルファス合金
新しい機能性金属薄膜材料
- Ti-Ni系高成形性形状記憶合金
新しい微細加工法，新材料を用いたMEMS，マイクロマシン
膜状熱電デバイスに関する研究
- 熱電薄膜表面への微細周期構造付与に関する研究
- 太陽光利用熱電発電デバイスに関する研究
新材料を用いたマイクロセンサ
- 高耐久性油中水分センサ
- 高耐食性メンブレン真空センサ
マイクロセンサ・アクチュエータデバイスに関する研究
マイクロバイオ・医用デバイスに関する研究
円筒形超音波マイクロアクチュエータ
薄膜金属ガラスマイクロアクチュエータ
- 微小引張試験用マイクロアクチュエータ
- 回転マイクロアクチュエータ
- 円すいばねマイクロアクチュエータ
- 集積化円すいばねマイクロアクチュエータ
- 基板面外アナログ変位マイクロアクチュエータ
- ２自由度マイクロアクチュエータ
- マイクロレンズアクチュエータ
