微細加工, MEMS, 材料評価のマイクロ・ナノプロセス研究グループHPへようこそ

新しい機能性金属薄膜材料

研究内容

 本研究室では,以下のようなマイクロ・ナノ領域での微細加工,材料評価,材料創成とそのアプリケーションまで広範なテーマを網羅し研究を推進しています.

  • 最新の研究内容をまとめたリーフレットはこちら
  • 各研究の詳細は項目をクリックしてください.
  • 研究室配属,共同研究についてのお問い合わせはこちら

新しい機能性金属薄膜材料 [#]

 これまでにない新しい機能を持った金属薄膜材料の開発を行っています.

Ti-Ni系高成形性形状記憶合金 [#]

 (工事中)