微細加工, MEMS, 材料評価のマイクロ・ナノプロセス研究グループHPへようこそ

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職 員

(スパム対策として[全角@]にしてあります.)

  • 教   授 秦 誠一 seiichi.hata[@]mae.nagoya-u.ac.jp
  • 准 教 授 櫻井淳平 junpei.sakurai[@]mae.nagoya-u.ac.jp
  • 客員准教授 溝尻瑞枝*
  • 助   教 岡智絵美 chiemi.oka[@]mae.nagoya-u.ac.jp
  • 秘   書 長谷部由美子
     *溝尻瑞枝先生は,2018年3月1日付で長岡技術科学大学の特任准教授に異動されました.

在学生

みんな頑張ってます!
2017集合写真6月

  • 博士課程
    • 博士3年
      • 吉井雄佑
  • 修士課程
    • 修士1年
      • 青山椋祐
      • 一色隆司
      • 杉浦公彦
      • 千須和要
      • 西谷健太
      • 森崎諒
      • 山田恭平
    • 修士2年
      • 伊木啓一郎
      • 上嶋祥平
      • 小林義典
      • 中川優希
      • 長谷川拓己
      • 堀 史門
      • 本川侑季
      • 楊 娜
  • 学部
    • 3年(機械システム研修)
      •  
    • 4年
      • 鬼頭直希
      • 南原圭汰
      • 二関隆史
      • 前澤礼弥
      • 三輪大貴
      • 望月朋哉

卒業生

みんな頑張りました!

  • 2017(平成29)年度
    • 前谷卓哉,博士論文「磁歪材料のコンビナトリアル探索の研究」
    • 安部修平,修士論文「光弾性法を用いたハイドロゲルの画像処理応力測定」
    • 飯嶋勇樹,修士論文「PDMS加工による微小パーツの作製と自己配列への応用」
    • 伊藤恭章,修士論文「フェムト秒レーザー還元直接描画法による非平面基板上へのCu温度センサ作製」
    • 粂野勇貴,修士論文「手術シミュレータ生体モデルのためのデザイナブルゲルの応力測定」
    • 近藤幸成,修士論文「フェムト秒レーザパルス誘起非線形光学効果を用いたCu微細造形」
    • 清水悠希,修士論文「近赤外太陽光発電のためのフレキシブル熱電デバイスの作製」
    • 高木進吾,修士論文「電解式電極触媒のコンビナトリアル探索」
    • 平井友喜,修士論文「新型高速原子ビームガンの基礎研究」
    • 渡邊寛人,修士論文「Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能な構造体の作製」
    • 青山慶子,卒業論文「グリオキシル酸銅錯体溶液を用いたフェムト秒レーザ還元直接描画法による銅微細構造の作製」
    • 青山椋祐,卒業論文「Ti-Ni-Cu 高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能な構造体の製作」
    • 赤田哲平,卒業論文「超音波振動を用いた金属ガラス流動積層法の研究」
    • 千須和要,卒業論文「コンビナトリアル手法による高成形性形状記憶合金の生体適合性評価」
    • 西谷健太,卒業論文「フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu-Ni系熱電式温度センサの作製」
    • 橋本英明,卒業論文「MEMSデバイスを用いた磁歪,透磁率評価 ~自動計測による高速化~」
    • 山田恭平,卒業論文「逆リフトオフ法のマイクロ加工特性」
  • 2016(平成28)年度
    • 伊藤嘉崇,修士論文「可視光透過型薄膜熱電発電デバイスの作製」
    • 蟹江道弘,修士論文「Au-Cu系金属ガラス流動積層法の基礎研究」
    • 田村健紀,修士論文「フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたNi系微細構造の作製」
    • 藤本幸佑,修士論文「金属ガラスを用いた超小型微小圧測定用静電容量型圧力センサの作製」
    • 村上元規,修士論文「高成形性形状記憶合金の熱的特性のハイスループット評価法の研究」
    • 伊木啓一郎,卒業論文「高成形性形状記憶合金を用いた受動型触覚ディスプレイの基礎研究」
    • 上嶋祥平,卒業論文「超小型静電容量型圧力センサの新規プロセス検討」
    • 中川優希,卒業論文「Au-Cu系金属ガラス流動積層法の積層評価」
    • 長谷川拓己,卒業論文「高感度磁区観察のための光学フィルタの作製」
    • 堀 史門,卒業論文「応力測定可能なデザイナブルゲル生体モデル製作の基礎検討」
    • 本川侑季,卒業論文「SOI基板を利用した集積化MEMSライブラリの製作」
  • 2015(平成27)年度
    • 渡辺茂高,博士論文「アモルファス合金厚膜構造体の製作方法とMEMSへの応用」
    • 荒金 駿,修士論文「フェムト秒レーザ還元直接描画法による微細Cuパターンの作製および評価」
    • 今枝航大,修士論文「MEMS技術を用いた経皮吸収剤応用マイクロニードルの研究」
    • 近藤 祐,修士論文「反射防止構造を付与した薄膜熱電発電デバイスの作製」
    • 高桑 暁,修士論文「受動型ドラッグデリバリーシステムの薬液投与特性」
    • 宮本将志,修士論文「コンビナトリアル手法を用いた塩素発生用電極触媒探索に関する基礎研究」
    • 深川雄貴,修士論文「水分センサ用ポーラス薄膜成膜条件のコンビナトリアル探索」
    • 寺野慧太,卒業論文「PVAハイドロゲル生体モデルの応力測定」
    • 安部修平,卒業論文「コンビナトリアル探索のための薄膜金属ガラスの内部応力制御」
    • 飯嶋勇樹,卒業論文「濡れ性制御による3次元自己配列のための微小パーツの作製」
    • 伊藤恭章,卒業論文「フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu2Oマイクロ温度センサ作製と評価」
    • 粂野勇貴,卒業論文「受動型ドラッグデリバリーシステムの設計と作製方法」
    • 高木進吾,卒業論文「水素発生用電極触媒のコンビナトリアル評価基板の製作」
    • 平井友喜,卒業論文「MEMS技術を応用したリチウム電池の正極材料のハイスループット評価法の基礎研究」
    • 渡邊寛人,卒業論文「Ti-Ni系高成形性形状記憶合金のマイクロ成形加工の検討」
  • 2014(平成26)年度
    • Jiang Shengxian,博士論文「Combinatorial Approach of Ni-based Amorphous Alloys for Glass Lens Molding Die Materials」
    • 金 必永,修士論文「樹脂製ダイアフラムを用いたフレキシブルMEMSセンサに関する研究」
    • 小野良太,修士論文「肺機能計測を目的とした気道内固定機構付き流量センサの開発」
    • 柴田峻志,修士論文「銅張積層板を用いた熱検知式MEMSセンサの高速応答化と医療応用」
    • 山田貴之,修士論文「 救急救命における呼吸・心拍のデュアルモニタリングを目指したMEMS流量センサに関する研究」
    • 鈴木 慧,卒業論文「水素発生触媒用コンビナトリアル評価基板の作製」
    • 西田 敏,卒業論文「静電容量型圧力センサの超小型化に関する基礎検討」
    • 田村健紀,卒業論文「フェムト秒レーザを用いたニッケル酸化物の還元微細パターニング」
    • 白石尚也,卒業論文「光てこ法による磁歪バイレイヤ構造体のたわみ評価方法の研究」
  • 2013(平成25)年度
    • Jeong Il Lee,博士論文「Polymer-micromachined Table-shaped Flexible Tactile Sensor」
    • 前谷卓哉,修士論文「センサ用磁歪材料のコンビナトリアル探索」
    • 吉井雄佑,修士論文「新しい薄膜金属フィルタを用いた油中水分センサ」
    • YAP JENGHUA,修士論文「集積化ハイスループット薄膜金属疲労試験法」
    • 衛藤祐太,修士論文「せん断応力計測を目的としたフィルム型MEMSセンサに関する研究」
    • 新美洋介,修士論文「 次世代経皮吸収剤を目指した先端分離型マイクロニードルの開発」
    • 別所克彦,修士論文「 ウェアラブル実装を目的としたフィルム型MEMSセンサに関する研究」
    • 松山拓矢,修士論文「動物実験における呼吸機能評価を目的としたMEMS流量センサの開発」
    • 今枝航大,卒業論文「経皮吸収剤を目的としたニードル先端部構造の先鋭化に関する研究」
    • 河村光,卒業論文「CVDダイヤモンド薄膜へのリフトオフプロセスの検討」
    • 佐藤俊介,卒業論文「呼気吸気計測を可能とする流量計測機能付き挿管チューブに関する研究」
    • 深川雄貴,卒業論文「斜入射スパッタ成膜電極を有する静電容量形水分センサ 」
    • 宮本将志,卒業論文「二次電池正極材料のハイスループット評価に関する基礎研究」
    • 渡邊裕也,卒業論文「フレキシブル圧力センサを目指した微小孔封止技術に関する研究」