微細加工, MEMS, 材料評価のマイクロ・ナノプロセス研究グループHPへようこそ

ハイスループット評価法

研究内容

 本研究室では,以下のようなマイクロ・ナノ領域での微細加工,材料評価,材料創成とそのアプリケーションまで広範なテーマを網羅し研究を推進しています.

  • 最新の研究内容をまとめたリーフレットはこちら
  • 各研究の詳細は項目をクリックしてください.
  • 研究室配属,共同研究についてのお問い合わせはこちら

ハイスループット評価法

 コンビナトリアル成膜法で一つの基板上に集積製作された多数個のサンプルを超効率的に評価するハイスループット評価法を研究しています.

結晶化開始温度のハイスループット評価法

サーモグラフィにより,薄膜アモルファス合金の結晶化に伴う放射率変化を検出することで,結晶化開始温度のハイスループット評価を実現する方法を研究しています.(秦)

コンビナトリアル結晶化開始温度評価法

縦弾性係数のハイスループット評価法

共振法を応用して薄膜金属材料の縦弾性係数をハイスループット評価する方法を研究しています.(秦)

コンビナトリアル縦弾性係数評価法

 

薄膜材料疲労強度のハイスループット評価法

MEMS技術とコンビナトリアル技術を融合することで,薄膜金属材料の疲労強度をハイスループットで測定する方法を研究しています.(秦)