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コンビナトリアル成膜法

研究内容

 本研究室では,以下のようなマイクロ・ナノ領域での微細加工,材料評価,材料創成とそのアプリケーションまで広範なテーマを網羅し研究を推進しています.

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コンビナトリアル成膜法

 新材料を開発する時,多くは組成や製作条件を変えたサンプルを一つ一つ作り,評価して目的の材料を探索します.コンビナトリアル成膜法は,組成の異なる薄膜サンプルを一度に一つの基板上に集積して製作し,材料探索の効率を飛躍的に高める手法です.

コンビナトリアル新対向ターゲットスパッタ法

低温・低ダメージ,高速成膜という特徴を有する新対向ターゲットスパッタ法をコンビナトリアル成膜に応用する研究を行っています.(秦)

コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法

アークプラズマガンを蒸着源に用いて,3元以上の合金を超効率的に組成探査する装置及び手法を研究しています.(秦)

コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法の概念図

コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法の概念図
 

単一アークプラズマガンを用いたコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法

単一のアークプラズマガンと合金カソードを用いて組成傾斜膜を生成する方法を研究しています.(秦)

 単一アークプラズマガンを用いたコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法の概念図

単一アークプラズマガンを用いたコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法の概念図
 

コンビナトリアルスパッタ法

多元同時スパッタや異種成分ターゲットを用いた組成傾斜膜の成膜方法と,そのコンビナトリアル探索への応用について研究しています.(秦)
 

コンビナトリアルMEMSプロセス探索

可動マスクを用いたコンビナトリアルスパッタ法を利用して,MEMSプロセスのプロセス条件探索法を研究しています.(秦)

 コンビナトリアルMEMSプロセス探索方法

コンビナトリアルMEMSプロセス探索方法