微細加工, MEMS, 材料評価のマイクロ・ナノプロセス研究グループHPへようこそ

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御挨拶

 名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻 マイクロ・ナノシステム講座 マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ(通称 秦研究室)HPにようこそ.
 本グループは,MEMS (Micro Electro Mechanical Systems: 微小電子機械システム)やマイクロアクチュエータ,精密微細金型,医療デバイスなど微小な集積機械デバイスを,微細加工と機械,材料の視点から研究しています.また,MEMS用の新材料開発のためにコンビナトリアル技術や評価技術に着目して,新しいコンビナトリアル成膜法や材料評価法の研究も精力的に行っています.詳細は,研究内容研究業績をご覧ください.研究室の様子は,Facebookページ(What's New in Hata's Lab.)もご覧ください。
 

お知らせ

学会・講演・展示会情報

  • 学会
      SPIE Photonics Westで発表を行います.
    • FEMTOSECOND LASER DIRECT WRITING OF CU-BASED FINE PATTERNS USING CU2O NANOSPHERES,Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata,2018年1月30日,The Moscone Center, San Francisco, California, United States

      IEEE MEMS2018で発表を行います.
    • FABRICATION OF A NOVEL NANOPOROUS FILM BY CHEMICAL DEALLOYING OF CU-CR AND ITS APPLICATION FOR A SENSOR, Yusuke Yoshii, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata, 2018年1月21日~1月25日, Belfast Waterfront, Belfast, Northern Ireland
    • FABRICATION OF FLEXIBLE THERMOELECTRIC GENERATORS WITH A LENS ARRAY FOR NEAR-INFRARED SOLAR LIGHT HARVESTING, Yuki Shimizu, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, 2018年1月21日~1月25日, Belfast Waterfront, Belfast, Northern Ireland

      Comsol Conference 2017 Tokyoで発表を行いました.
    • 熱伝導解析を用いた透過型薄膜熱電発電デバイスの設計と作製,溝尻瑞枝,2017年12月8日,秋葉原UDXビル 南ウイング4F

      MHS2017で発表を行いました.
    • MICRO FOLDING STRUCTURE USING TI-NI-ZR HIGH FORMABLE SHAPE MEMORY ALLOYS, Hiroto Watanabe, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, 2017年12月4日~12月6日, Noyori Conference Hall, Nagoya University

      2017 MRS Fall Meeting&Exhibitで発表を行いました.
    • COMBINATORIAL SEARCH OF A CU-CR COMPOSITION CONDITION AND FABRICATION OF A NEW NANOPOROUS FILM BY DEALLOYING OF CU-CR, Yusuke Yoshii, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata, 2017年11月26日~12月1日, Hynes Convention Ceter, Boston, Massachusetts, USA

      Power MEMS2017で発表を行いました.
    • FABRICATION OF COPPER/COPPER-NICKEL THIN-FILM THERMOELECTRIC GENERATORS WITH ENERGY STORAGE DEVICESTi,Yuki Shimizu, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei Sakurai, Seiichi Hata,2017年11月13~17日,Kanazawa Bunka Hall

      第10回 SMAシンポジウム2017で発表を行いました.
    • Ti-Ni-Zr 高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能なパイプ構造の作製,渡邊寛人,溝尻瑞枝,秦誠一,櫻井淳平,2017年11月16日,島根県民会館

      第2回生体医歯工学共同研究拠点国際シンポジウムで発表を行いました.
    • MICRO FOLDABLE PIPE STRUCTURES USING TI-NI-ZR HIGH FORMABLE SHAPE MEMORY ALLOYS,Hiroto Watanabe, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Hideki Hosoda,2017年11月9~10日,Tokyo Institute of Technology

      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムで発表を行いました.
    • Cu-Cr脱合金化法を用いた新規ナノポーラス膜の製作と油中水分センサへの応用,吉井雄佑,櫻井淳平溝尻瑞枝,秦誠一,2017年10月31日,広島国際会議場
    • 電解式塩素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索, 高木 進吾, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平, 2017年11月1日,広島国際会議場
    • Cu-Ni熱電薄膜を用いたフレキシブル発電デバイスの作製,清水悠希, 溝尻瑞枝, 三上 祐史, 櫻井 淳平, 秦 誠⼀,2017年11月1日,広島国際会議場
    • 薄膜金属ガラスを用いた微小ダイアフラム構造体の張力制御法,上嶋祥平,秦誠一,櫻井淳平,2017年11月2日 広島国際会議場

      第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウムで発表を行いました.
    • CuO/NiO混合ナノ粒子のフェムト秒レーザ還元を用いたpn熱電対の選択描画,溝尻瑞枝,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年10月31日,広島国際会議場
    • フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCuメッシュ型温度センサの作製,伊藤恭章,溝尻瑞枝櫻井淳平,秦誠一,2017年10月31日,広島国際会議場
    • PDMS微小パーツの自己配列による二次元周期構造形成,飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠⼀,2017年11月1日,広島国際会議場

      第88回レーザ加工学会講演会で発表を行いました.
    • Cu2Oナノ粒子還元を利用した導電性Cuパターンの直接描画,近藤幸成, 溝尻瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠⼀,2017年10月12日,大阪大学 吹田キャンパス 銀杏会館

      第3回日本機械学会イノベーション講演会iJSME2017で発表を行いました.
    • 磁性材料の磁化特性に関するハイスループット評価,前谷卓哉,本川侑季,小林義典,櫻井 淳平,溝尻 瑞枝,秦誠一,2017年10月8日,名古屋大学 東山キャンパス ES総合館
    • 光弾性法を用いたゲル材料の応力ベクト測定,堀 史門,粂野 勇貴,安部 修平,池田 誠一,齊藤 梓,川上 勝,古川 英光,溝尻 瑞枝,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年10月8日,名古屋大学 東山キャンパス ES総合館
    • Cu-Cr脱合金化法のための組成条件のコンビナトリアル探索と新規ナノポーラス膜の製作,吉井雄佑,櫻井淳平溝尻瑞枝,秦誠一, 2017年10月8日,名古屋大学 東山キャンパス ES総合館
    • フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCuメッシュ構造描画特性評価,伊藤 恭章,溝尻瑞枝,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年10月8日,名古屋大学 東山キャンパス ES総合館
    • Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ構造の作製,渡邊寛人,溝尻瑞枝,秦誠一,櫻井淳平,2017年10月8日,名古屋大学 東山キャンパス ES総合館
    • Ir-Ru-TiO2系塩素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索, 高木 進吾, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平, 2017年10月8日,名古屋大学 東山キャンパス ES総合館
    • PDMS中空微小パーツ作製と自己配列による二次元周期構造形成,飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠⼀,2017年10月8日,名古屋大学 東山キャンパス ES総合館

      第78回応用物理学会秋季学術講演会で発表を行いました.
    • Auギャップ光学フィルタを⽤いた磁区観察の⾼感度化,⻑⾕川拓⼰, 溝尻瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠⼀, ⾼⽊ 健太, 尾崎 公洋,2017年9月5日,福岡国際会議場
    • Cu2Oナノ粒子を用いたフェムト秒レーザ微細パターニング,近藤幸成,溝尻瑞枝,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年9月7日,福岡国際会議場
    • CuO/NiOナノ粒子を用いたポリマー基板上への熱電対のレーザ還元描画,溝尻瑞枝,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年9月8日,福岡国際会議場

      日本機械学会2017年度年次大会で発表を行いました.
    • フェムト秒レーザ還元直接描画法におけるCu微細パターンのデフォーカス描画特性評価,伊藤恭章,溝尻瑞枝,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年9月4日,埼玉大学
    • 塩素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索,高木 進吾,宮本 将志,溝尻 瑞枝,秦 誠一,櫻井 淳平,2017年9月5日,埼玉大学
    • 磁歪材料のコンビナトリアル探索用SOI-MEMSデバイス製作,本川 侑季,前谷 卓哉,溝尻 瑞枝,秦 誠一,櫻井 淳平,2017年9月5日,埼玉大学
    • SOI-MEMSデバイスを用いた磁気特性のコンビナトリアル評価,前谷 卓哉,本川 侑季,溝尻 瑞枝,秦 誠一,櫻井 淳平,2017年9月5日,埼玉大学
    • Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索,櫻井 淳平,村上 元規,溝尻 瑞枝,秦 誠一,2017年9月5日,埼玉大学
    • Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金のマイクロ折りたたみ構造の作製,渡邊 寛人,溝尻 瑞枝,秦 誠一,櫻井 淳平,2017年9月5日,埼玉大学
    • 新規Cu-Cr脱合金化法を用いたナノポーラス電極膜フィルタの製作とセンサへの応用,吉井 雄佑,櫻井 淳平,溝尻 瑞枝,秦 誠一,2017年9月5日,埼玉大学
    • 環境発電のためのCu/Cu-Ni薄膜熱電デバイスの作製,清水悠希,溝尻瑞枝, 三上祐史,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年9月5日,埼玉大学
    • PDMS微小パーツの作製と周期構造形成のための自己配列特性評価,飯嶋勇樹,溝尻瑞枝,櫻井 淳平,秦誠一,2017年9月5日,埼玉大学
    • 画像処理を用いたPVAハイドロゲルの光弾性応力測定,安部 修平,粂野 勇貴,池田 誠一,齊藤 梓,川上 勝,古川 英光,溝尻 瑞枝,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年9月6日,埼玉大学
    • 光弾性法によるデザイナブルゲルの応力測定,粂野 勇貴,安部 修平,池田 誠一,齊藤 梓,川上 勝,古川 英光,溝尻 瑞枝,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年9月6日,埼玉大学

      電気学会E部門総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会で発表を行いました.
    • Cu2Oナノ粒子還元によるCu微細パターンのフェムト秒レーザ直接描画,溝尻瑞枝,近藤幸成,櫻井 淳平,秦 誠一,2017年6月29日,イーグレひめじ

      The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2017)で発表を行いました.
    • Cu micropatterning using femtosecond laser reduction of Cu2O nanoparticles, Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai,Seiichi Hata,2017年6月7日,Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
    • Three-dimensional hot-film flow sensors fabricated using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles, Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Junpei Sakurai,Seiichi Hata,2017年6月7日,Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
    • P- and n-type thermoelectric micropatterns fabricated by femtosecond laser reduction of CuO/NiO nanoparticles, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai,Seiichi Hata,2017年6月8日,Toyama International Conference Center, Toyama, Japan

      6th JSME/ASME 2017 International Conference on Materials and Processing, ICM&P2017で発表を行いました.
    • Copper-Based Micropatterning on Silicone Using a Combined Process of Spray-Coating and Femtosecond Laser Reduction of Copper Oxide Nanoparticles, Yasuaki Ito, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai,Seiichi Hata,2017年6月7日,University of Southern California, CA, USA
    • High throughput characterization method for glass transition of Ti-Ni-Zr high formable shape memory alloy by in-situ measuring electric properties, Junpei Sakurai, Motoki Murakami, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata,2017年6月8日,University of Southern California, CA, USA
  • 講演・シンポジウム
    • SPIE Photonics Westにて溝尻助教が講演「Direct writing of three-dimensional Cu-based sensors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles」を行います.2018年2月1日 The Moscone Center, San Francisco, California, United States
    • Comsol Conference 2017にて溝尻助教が講演「熱伝導解析を用いた透過型薄膜熱電発電デバイスの設計と作製」を行います.2017年12月8日 秋葉原UDXビル4階
    • 第44回金属ガラス部門委員会・研究会「金属ガラス・ナノ組織材料の最近の研究展開」にて櫻井准教授が講演「新規機能性金属薄膜材料の開発とその応用」を行いました.2017年12月1日 宇都宮大学 陽東キャンパス
    • 平成29年度第1回多元技術融合光プロセス研究交流会にて溝尻助教が講演「フェムト秒レーザー還元直接描画法を用いた機能性材料の選択描画とデバイス応用」を行いました.2017年7月6日 産業技術総合研究所臨海副都心センター
    • 名古屋大学協力会 工学セミナーにて秦教授,櫻井准教授,溝尻助教が講演を行いました.2017年6月23日 名古屋大学
    • レーザー学会第37回年次大会にて溝尻助教が講演「フェムト秒レーザ還元直接描画法によるマイクロデバイスの作製」を行いました.2017年1月19日 徳島大学
    • 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにて秦教授が講演「新奇金属系マイクロマシン・センサ材料とその微細加工」を行いました.2016年10月24日 平戸文化センター
    • International Conference on Advanced Laser Technologies (ALT'16)にて溝尻助教が講演「Fabrication of microdevices using femtosecond laser reductive sintering of metal oxide nano particles」を行いました.2016年9月13日 Radisson Blu Hotel & Spa Galway, Galway, Ireland.
  • 展示会
    • SPIE Smart Structures/NDEの3D printing demonstrationsにて展示を行いました.2017年3月27日
    • OPIE'16 マイクロ・ナノ応用技術展で月刊オプトロニクス連動展示を行いました.2016年5月18-20日
    • 名古屋大学 Open Campus2015で研究室開放を行いました.2015年9月4日
    • テクノ・フェア名大で展示および研究室開放を行いました.2015年8月7日
    • MHS2015で学術展示および研究室開放を行います.2015年11月23-25日


受賞・新聞発表等

  • 受賞
    • Comsol Conference 2017 Tokyoで溝尻助教が優秀口述講演者賞を受賞しました.おめでとうございます.

      受賞用_11-1
    • 第10回SMAシンポジウム2017でM2渡邉君がポスター賞ASMA賞を受賞しました.おめでとうございます.Ti-Ni-Zr 高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能なパイプ構造の作製,渡邊寛人,溝尻瑞枝,秦誠一,櫻井淳平

      受賞用_10-2
    • 第10回「資生堂 女性研究者サイエンスグラント」を溝尻助教が受賞しました.おめでとうございます.

      受賞用_9-3
    • 日本機械学会若手優秀講演フェロー賞をD2荒金君が受賞しました.おめでとうございます.

      受賞用_8-6
    • 日本機械学会フェローを秦教授が受賞しました.おめでとうございます.
    • IEEE SENSORS 2015でM2今枝君がStudent Best Paper Awardを受賞しました.おめでとうございます.Responsible time Shorting of flexible thermal flow sensor for medical applications, Kodai Imaeda, Shunji Shibata, Miyoko Matsushima, Tsutomu Kawabe, Mitsuhiro Shikida
    • 第83回レーザ加工学会講演会で溝尻助教が優秀ポスター賞を受賞しました.おめでとうございます.フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたマイクロ温度センサの作製,溝尻瑞枝,荒金 駿,櫻井淳平秦 誠一
  • 新聞発表等
    • 溝尻瑞枝助教,秦 誠一教授 月刊OPTRONICS 2016年5月号「レーザー光を用いた超精密・超微細3Dプリンティングの最前線」特集号の特集記事を執筆.
    • 秦 誠一教授,佐藤一雄名誉教授 日本機械学会誌2013年1月号「身の回りのマイクロ・ナノ技術」特集号の巻頭言および総説に寄稿.

その他

  • HPの表示幅をiPadに最適化しました.(2013年1月11日)
  • HPをPukiWikiベースのQHMにて一新しました.(2013年1月7日)