微細加工, MEMS, 材料評価のマイクロ・ナノプロセス研究グループHPへようこそ

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御挨拶

 名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻 マイクロ・ナノシステム講座 マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ(通称 秦研究室)HPにようこそ.
 本グループは,MEMS (Micro Electro Mechanical Systems: 微小電子機械システム)やマイクロアクチュエータ,精密微細金型,医療デバイスなど微小な集積機械デバイスを,微細加工と機械,材料の視点から研究しています.また,MEMS用の新材料開発のためにコンビナトリアル技術や評価技術に着目して,新しいコンビナトリアル成膜法や材料評価法の研究も精力的に行っています.詳細は,研究内容研究業績をご覧ください.研究室の様子は,Facebookページ(What's New in Hata's Lab.)もご覧ください。
 

お知らせ

  • 展示会出展のお知らせ  
      2019年8月29日,8月30日イノベーション・ジャパン2019大学見本市に出展します.(2019年7月1日)
  • 山崎研究員着任のお知らせ  
      日本学術振興会特別研究員(PD)山崎貴大さんが着任いたしました.(2019年4月1日)
  • 岡助教着任のお知らせ  
      岡智絵美助教が着任いたしました.(2018年4月1日)
  • 溝尻助教転出のお知らせ  
      溝尻瑞枝助教が,長岡技術科学大学准教授にご栄転されました!益々のご活躍をお祈りします.
      なお,引き続き本研究室の客員准教授をお願いします.(2018年3月1日)

2017年以前のお知らせは「アーカイブ」へ

学会・講演・展示会情報

  • 学会
       Transducers2019/EurosensorsXXXIIIで発表を行いました.
    • FABRICATION AND EVALUATION OF TACTILE PINS FOR PASSIVE TYPE TACTILE DISPLAYS USING HIGH FORMABILITY SHAPE MEMORY ALLOYS, Keita Nambara, Keiichirou Iki, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, 2019年6月24日, Berlin, Germany

      19th International Conference & Exhibition (euspen)で発表を行いました.
    • Development and evaluation of the novel FAB gun, Ryo Morisaki, Yuuki Hirai, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Chiemi Oka, Takami Hirai, Tomonori Takahashi, Hiroyuki Tsuji, Seiichi Hata, 2019年6月5,6日, Bilbao, Spain

      MHS2018で発表を行いました.
    • Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process, Yuki Nakagawa, Kyohei Yamada, Mizue Mizoshiri, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, 2018年12月12日, Nagoya, Japan
    • Fabrication of Miniaturized Capacitive Pressure Sensor using Thin Film Metallic Glass, Shohei Uejima, Chiemi Oka, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, 2018年12月12日, Nagoya, Japan

      第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムで発表を行いました.
    • 逆リフトオフ法のマイクロ加工特性, 中川 優希,山田 恭平,岡 智絵美,溝尻 瑞枝,櫻井 淳平,秦 誠一, 2018年10月30日, 札幌市民交流プラザ,北海道
    • 薄膜金属ガラス製微小ダイアフラム構造体のたわみ制御法, 上嶋祥平,秦誠一,櫻井淳平, 2018年11月1日, 札幌市民交流プラザ,北海道

      NNT2018で発表を行いました.
    • Fabrication of inner AR substrate for dye-sensitized solar cells by solvent-assisted room temperature nanoimprinting, Na Yang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, 2018年9月20日, Braga, Portugal

      第79回応用物理学会秋季学術講演会で発表を行いました.
    • フェムト秒レーザ還元直接描画法における熱蓄積の影響, 西谷健太,秦誠一,溝尻瑞枝,2018年9月18日, 名古屋, 愛知

      日本機械学会2018年度年次大会で発表を行いました.
    • ナノインプリントによる色素増感型太陽電池用光学基板の作製, 楊娜, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平, 2018年9月11日, 関西大学, 大阪
    • 薄膜金属を用いたマイクロダイアフラムの作製, 一色隆司,上嶋祥平,岡智絵美櫻井淳平,林育菁,秦誠一,2018年9月11日, 関西大学, 大阪
    • 高成形性形状記憶合金のアノード分極特性のコンビナトリアル評価, 千須和要,溝尻瑞枝,秦誠一,櫻井淳平,2018年9月11日, 関西大学, 大阪
    • 高成形性形状記憶合金を用いた受動型触覚ディスプレイの作成方法の検討, 伊木啓一郎,溝尻瑞枝,秦誠一,櫻井淳平,2018年9月11日, 関西大学, 大阪
    • 新形高速原子ビームガンの開発-基本構造と除去特性の検討-, 森崎諒,平井友喜,溝尻瑞枝櫻井淳平,平井隆巳,高橋知典,辻裕之,秦誠一,2018年9月11日, 関西大学, 大阪

      First International Conference on 4D Materials and Systemsで発表を行いました.
    • Basic Study on Photoelastic Stress Measurement for Surgery Simulator using Gel Materials , Shimon Hori, Shuhei Abe, Yuki Kumeno, Seiichi Ikeda, Azusa Saito, Masaru Kawakami, Hidemitsu Furukawa, Junpei Sakurai, and Seiichi Hata, 2018年8月30日, Yonezawa, Japan

      The 2nd Taiwan-Japan Joint Symposium in Taiwanで発表を行いました.
    • Fabrication of Inner AR Substrate for Dye-Sensitized Solar Cells, Na Yang, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, 2018年6月1日, Taipei, Taiwan
    • Improving water wettability of porous sintered stainless steel fibers for development of heat transfer performance, Chiemi Oka, Odagiri Kimihide, Hosei Nagano, Seiichi Hata, 2018年6月1日, Taipei, Taiwan
    • Processing characteristics of reverse lift-off process, Kyohei Yamada, Yuki Nakagawa, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, 2018年6月1日, Taipei, Taiwan

      SLPC2018で発表を行いました.
    • Direct-writing properties of Cu-Ni-based thermoelectric micropatterns formed by femtosecond laser reductive sintering at low writing speed, Kenta Nishitani, Seiichi Hata, Junpei Sakurai and Mizue Mizoshiri, 2018年4月26日, Yokohama, Japan

      日本機械学会東海支部 第67期総会・講演会で発表を行いました.
    • 集積化MEMSデバイスを用いた磁歪材料のハイスループット評価(測定系の自動化と高精度化の検討),橋本英明,前谷卓也,溝尻瑞枝櫻井淳平,秦誠一,2018年3月13日,名古屋大学
    • フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCu-Ni系熱電微細パターンの描画,西谷健太,秦誠一,櫻井淳平溝尻瑞枝,2018年3月13日,名古屋大学
    • 色素増感型太陽電池の光学基板の作製,楊娜,溝尻瑞枝,秦誠一,櫻井淳平,2018年3月13日,名古屋大学
    • 成形性形状記憶合金の生体適合性のコンビナトリアル評価法の確立,千須和要,溝尻瑞枝,秦誠一,櫻井淳平,2018年3月13日,名古屋大学
    • 逆リフトオフ法のマイクロ加工特性の基礎研究,中川優希,山田恭平,溝尻瑞枝櫻井淳平,秦誠一,2018年3月14日,名古屋大学
    • 金属ガラス3Dプリンタの基礎研究(超音波積層ヘッドの試作とその評価),赤田哲平,溝尻瑞枝櫻井淳平,秦誠一,2018年3月14日,名古屋大学
    • 薄膜金属ガラスダイアフラム構造体の応力制御の基礎的研究,一色隆司,上嶋祥平,秦誠一,櫻井淳平溝尻瑞枝,2018年3月14日,名古屋大学
    • 高成形性形状記憶合金を用いた触覚ディスプレイの駆動部の基礎検討,伊木啓一郎,秦誠一,櫻井淳平溝尻瑞枝,2018年3月14日,名古屋大学
    • 高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能な構造体の製作,青山椋祐,渡邊寛人,溝尻瑞枝,秦誠一,櫻井淳平,2018年3月14日,名古屋大学
    • 磁歪材料ハイスループット評価用MEMS集積化ライブラリ製作(評価基板におけるめっき膜厚の均一化),小林義典,本川侑季,前谷卓也,溝尻瑞枝櫻井淳平,秦誠一,2018年3月14日,名古屋大学

      SPIE Photonics Westで発表を行いました.
    • FEMTOSECOND LASER DIRECT WRITING OF CU-BASED FINE PATTERNS USING CU2O NANOSPHERES,Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata,2018年1月30日,The Moscone Center, San Francisco, California, United States

      IEEE MEMS2018で発表を行いました.
    • FABRICATION OF A NOVEL NANOPOROUS FILM BY CHEMICAL DEALLOYING OF CU-CR AND ITS APPLICATION FOR A SENSOR, Yusuke Yoshii, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata, 2018年1月21日~1月25日, Belfast Waterfront, Belfast, Northern Ireland
    • FABRICATION OF FLEXIBLE THERMOELECTRIC GENERATORS WITH A LENS ARRAY FOR NEAR-INFRARED SOLAR LIGHT HARVESTING, Yuki Shimizu, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, 2018年1月21日~1月25日, Belfast Waterfront, Belfast, Northern Ireland
  • 講演・シンポジウム
    • 精密工学会2019年度春季大会にて櫻井准教授が招待講演「ナノインプリントテクスチャ基板の作製と色素増感型太陽電池への応用」を行いました.2019年3月15日 東京電機大学
    • First International Conference on 4D Materials and Systemsにて櫻井准教授が招待講演「Development of Stress Measurable Vessel Model using Photoelastic Materials」を行いました.2018年8月29日 Yamagata University, Yonezawa, Japan
    • 日本機械学会・材料力学部門 第5回「形状記憶材料の医療および産業分野への利用拡大のための研究開発に関する分科会」にて櫻井准教授が講演「新規機能性金属薄膜材料の開発」を行いました.2018年3月16日 安保ホール
    • SPIE Photonics Westにて溝尻助教が講演「Direct writing of three-dimensional Cu-based sensors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles」を行いました.2018年2月1日 The Moscone Center, San Francisco, California, United States
    • Comsol Conference 2017にて溝尻助教が講演「熱伝導解析を用いた透過型薄膜熱電発電デバイスの設計と作製」を行います.2017年12月8日 秋葉原UDXビル4階
    • 第44回金属ガラス部門委員会・研究会「金属ガラス・ナノ組織材料の最近の研究展開」にて櫻井准教授が講演「新規機能性金属薄膜材料の開発とその応用」を行いました.2017年12月1日 宇都宮大学 陽東キャンパス
    • 平成29年度第1回多元技術融合光プロセス研究交流会にて溝尻助教が講演「フェムト秒レーザー還元直接描画法を用いた機能性材料の選択描画とデバイス応用」を行いました.2017年7月6日 産業技術総合研究所臨海副都心センター
    • 名古屋大学協力会 工学セミナーにて秦教授,櫻井准教授,溝尻助教が講演を行いました.2017年6月23日 名古屋大学
    • レーザー学会第37回年次大会にて溝尻助教が講演「フェムト秒レーザ還元直接描画法によるマイクロデバイスの作製」を行いました.2017年1月19日 徳島大学
    • 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにて秦教授が講演「新奇金属系マイクロマシン・センサ材料とその微細加工」を行いました.2016年10月24日 平戸文化センター
    • International Conference on Advanced Laser Technologies (ALT'16)にて溝尻助教が講演「Fabrication of microdevices using femtosecond laser reductive sintering of metal oxide nano particles」を行いました.2016年9月13日 Radisson Blu Hotel & Spa Galway, Galway, Ireland.
  • 展示会
    • nano tech 2019のSIPブースにて展示を行いました.2019年1月30日-2月1日
    • SEMICON Japan 2018にて展示を行いました.2018年12月12-14日
    • SPIE Smart Structures/NDEの3D printing demonstrationsにて展示を行いました.2017年3月27日
    • OPIE'16 マイクロ・ナノ応用技術展で月刊オプトロニクス連動展示を行いました.2016年5月18-20日
    • 名古屋大学 Open Campus2015で研究室開放を行いました.2015年9月4日
    • テクノ・フェア名大で展示および研究室開放を行いました.2015年8月7日
    • MHS2015で学術展示および研究室開放を行います.2015年11月23-25日


受賞・新聞発表等

  • 受賞
    • 平成29年度日本学術振興会特別研究員等審査会専門委員表彰を秦教授が受賞しました.おめでとうございます.名大トピックスにも掲載されました.

      受賞用_13
    • 日本機械学会東海支部第67期総会・講演会での発表が若手優秀講演フェロー賞を受賞しました.

      青野慶忠,岡智絵美,長野方星,山下 征士,石切山 守, 星野 優
      “自動車熱マネージメントに向けた高熱輸送ループヒートパイプの研究”

    • 第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウムで秦教授,櫻井准教授が優秀講演論文表彰を受賞しました.おめでとうございます.

      受賞用_12
    • Comsol Conference 2017 Tokyoで溝尻助教が優秀口述講演者賞を受賞しました.おめでとうございます.

      受賞用_11-1
    • 第10回SMAシンポジウム2017でM2渡邉君がポスター賞ASMA賞を受賞しました.おめでとうございます.Ti-Ni-Zr 高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能なパイプ構造の作製,渡邊寛人,溝尻瑞枝,秦誠一,櫻井淳平

      受賞用_10-2
    • 第10回「資生堂 女性研究者サイエンスグラント」を溝尻助教が受賞しました.おめでとうございます.

      受賞用_9-3
    • 日本機械学会若手優秀講演フェロー賞をD2荒金君が受賞しました.おめでとうございます.

      受賞用_8-6
    • 日本機械学会フェローを秦教授が受賞しました.おめでとうございます.
    • IEEE SENSORS 2015でM2今枝君がStudent Best Paper Awardを受賞しました.おめでとうございます.Responsible time Shorting of flexible thermal flow sensor for medical applications, Kodai Imaeda, Shunji Shibata, Miyoko Matsushima, Tsutomu Kawabe, Mitsuhiro Shikida
    • 第83回レーザ加工学会講演会で溝尻助教が優秀ポスター賞を受賞しました.おめでとうございます.フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたマイクロ温度センサの作製,溝尻瑞枝,荒金 駿,櫻井淳平秦 誠一
  • 新聞発表等
    • 溝尻瑞枝助教,秦 誠一教授 月刊OPTRONICS 2016年5月号「レーザー光を用いた超精密・超微細3Dプリンティングの最前線」特集号の特集記事を執筆.
    • 秦 誠一教授,佐藤一雄名誉教授 日本機械学会誌2013年1月号「身の回りのマイクロ・ナノ技術」特集号の巻頭言および総説に寄稿.

その他

  • HPの表示幅をiPadに最適化しました.(2013年1月11日)
  • HPをPukiWikiベースのQHMにて一新しました.(2013年1月7日)